| 【谦】系列产品基础规格 | ||||
| 机型 规格 | 谦-682 | 谦-8102 | 谦-10122 | 谦-12162 |
| 测量行程(mm) | 600×800×200 | 800×1000×200 | 1000×1200×200 | 1200×1600×200 |
| 承载重量 | 60 kg | |||
| 外观尺寸(mm) | 1150×1650×1660 | 1400×1950×1660 | 1750×2450×1660 | 1900×2700×1660 |
| 机台重量 | 1630kg | 2120kg | 3020kg | 4300kg |
| XY轴精度(μm) | (2.6+L/200)μm | (3.0+L/200)μm | (3.4+L/200)μm | (3.8+L/200)µm |
| Z轴精度(μm) | (5.0+L/200)µm | |||
| 分辨率 | 0.1µm | |||
| 基本倍率 | 1X(LWD) | |||
| 光学变焦 | 12.5:1 | |||
| 综合倍率 | 20X-126X / 0.7X-4.5X | |||
| 最大XY速度 | 500 mm/s | |||
| 最大Z速度 | 100 mm/s | |||
| 光源 | 表面光源，5环8区，LED冷光源；轮廓光源，LED冷光源 | |||
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