| 【智】系列产品基础规格 | ||||
| 机型 规格 | 智-332 | 智-442 | 智-552 | 智-662 |
| 测量行程(mm) | 300×300×200 | 400×400×200 | 500×500×200 | 600×600×200 |
| 承载重量 | 25 kg | |||
| 外观尺寸(mm) | 1150×850×1650 | 1350×950×1650 | 1550×1050×1650 | 1650×1250×1650 |
| 机台重量 | 630kg | 720kg | 820kg | 930kg |
| XY轴精度(μm) | (1.8+L/200)μm | (2.0+L/200)μm | (2.2+L/200)μm | (2.4+L/200)µm |
| Z轴精度(μm) | (5.0+L/200)µm | |||
| 分辨率 | 0.1µm | |||
| 基本倍率 | 1X(LWD) | |||
| 光学变焦 | 12.5:1 | |||
| 综合倍率 | 20X-126X / 0.7X-4.5X | |||
| 最大XY速度 | 500 mm/s | |||
| 最大Z速度 | 100 mm/s | |||
| 光源 | 表面光源，5环8区，LED冷光源；轮廓光源，LED冷光源 | |||
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