



| 项目 |
技术参数 | |
|---|---|---|
| 型号 |
鸿鹄S3020 | |
| 测量范围(XY) |
图像测量·广视野 |
240mm × 170mm |
| 图像测量·高精度 |
220mm × 150mm | |
| 激光测量 |
210mm × 90mm | |
| 探针测量 |
210mm × 90mm | |
| Z轴测量行程 |
150mm | |
| 测量精度 | X、Y轴 (EUX, MPE EUY, MPE) |
1.8+L/200μm |
| X、Y平面 (EUXY, MPE) |
2.8+L/200μm | |
| Z轴 (EUZ, MPE) |
3+L/100μm | |
| 图像测量·视野 |
广视野模式 |
23mm × 23mm |
| 高精度模式 |
6mm × 6mm | |
| 最小显示单位 |
0.1μm | |
| 图像测量·重复精度 |
广视野模式 |
0.6μm |
| 高精度模式 |
0.3μm | |
| 图像测量·测量精度 |
广视野模式 |
1.5μm |
| 高精度模式 |
1μm | |
| 激光测量 | 工作距离 |
37mm |
| 测量景深 |
±2mm | |
| 最大倾角 | 21° | |
| 重复精度 | ±2μm | |
| 探针测量 | 重复精度 | ±2μm |
| 测量力 | 0.08N | |
| 光学系统 |
CCD相机 |
2000W像素CCD*2 |
| 受光镜头 |
高分辨率双倍率双远心镜头 | |
| 表面光源 |
四分割环状照明+环状指向性照明(可升降光源) | |
| 轮廓光源 |
平行底光源 | |
| 同轴光源 |
平行同轴光(内置) | |
| 平台承重 |
5kg |
|
| 平台重量 |
45kg |
|
| 测头重量 | 7.5kg | |
| 供应电源 | 220V±10%,50Hz | |
| 工作环境 | 温度:20±2℃,湿度:20-80%(无凝结),振动:<0.002g 15Hz | |
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