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智662影像测量仪

智662影像测量仪

高速直线电机、直驱固定龙门、高效自动测量、批量检测提速;在0.1 μm分辨率与500 mm/s速度之间取得平衡,面向精度与效率兼顾的通用检测。;0.1 μm分辨率、8.3X镜头、18X至165X放大倍率;XY精度为1.6+L/200至2.2+L/200 μm,兼顾精度与效率;大理石龙门、直线电机,XY最高速度500 mm/s;可选光谱、线激光与高精度测头,支持后续扩展;

测量范围600mm*600mm
检测精度(2.2+L/200)μm

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